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陶瓷研磨盘带台阶

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    产品描述

    用于半导体硅片研磨、单晶硅的加工领域等。

    产品特点

    •         目前,采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片是最优越最前沿的研磨方法。采用双面研磨工艺对切割好的硅片进行
    • 研磨,通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研磨片的质量;尤其是使用陶瓷
    • 盘代替铸铁盘,避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染,减少了金属离子的引入,可减少硅片的后续加工量,
    • 缩短了后续工序(腐蚀)时间,提高了生产效率,而且减少了硅片加工的损耗,大大地提高了硅片的利用率。

    技术指标

    物理指标 

    性能 顺鹏陶瓷
    国内水平 国外水平
    密度(g/cm3)
    3.97
    3.81-3.93
    3.9-3.94
    纯度(%)
    99.9 98-99.8 99.5-99.9
    维氏硬度(GPa)
    17
    14-15
    16-17.5
    三点抗弯强度(MPa)
    520 300-350
    330-400


    产品规格

    ∅850mm、厚45mm以下的高纯氧化铝圆盘、园环(尺寸可以定制)
    我司还可以生产以下规格的高端陶瓷:
    1、1500×600×25mm以下的长板、长条、方板、薄板;
    2、1000×45×45mm以下的导轨;
    3、∅300×500mm以下的空管、圆柱体、电真空管等
    4、各种形状的异形件定制产品

    顺鹏优势

      我们的产品已出口到澳大利亚、智利、南非、美国、俄罗斯、日本、印度尼西亚等国家,顺鹏可提供耐磨陶瓷技术解决方案,将提供适合您要求的产品和优质服务。

    网址:www.chemshun.cn.联系方式:13879937296/0799-2181608。

    产品展示

    陶瓷研磨盘

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