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半导体硅晶圆抛光盘

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    产品描述

    半导体、石油、化工、光伏、液晶等行业,如机械零件、电子零件、微波感应盘、绝缘材料等零件、半导体器件,

    真空设备,液晶制造设备及其他零部件。大尺寸高纯氧化铝陶瓷在蓝宝石行业和半导体芯片行业具有重要的应用

    价值。是蓝宝石和半导体硅晶圆化学机械抛光(CMP)关键支撑件及耗材。大尺寸高纯氧化铝陶瓷被用做LCD用

    氧化铝基板。

    产品特点

    • 高纯氧化铝99.7%-99.9%
      机械强度高、高耐磨性、高电绝缘、高化学稳定性、良好的耐热性和耐腐蚀性。
      目前,采用陶瓷研磨盘研磨半导体硅片是最优越最前沿的研磨方法。采用双面研磨工艺对切割好的硅片进行
    • 研磨,通过改善研磨工艺(磨盘材质、研磨液、研磨压力及研磨转速等)来提高研磨片的质量;尤其是使用陶瓷
    • 盘代替铸铁盘,避免研磨时对晶片的主面造成伤痕或污染,减少了金属离子的引入,可减少硅片的后续加工量,
    • 缩短了后续工序(腐蚀)时间,提高了生产效率,而且减少了硅片加工的损耗,大大地提高了硅片的利用率。

    技术指标

    化学/物理指标 

    性能 顺鹏产品
    密度(g/cm3)
    3.94-3.97
    纯度(%)
    99.7-99.9
    维氏硬度(GPa)
    ≥17
    三点抗弯强度(MPa)
    440-550
    热扩散系数(Cm2/s)  
    0.0968
    弹性模量(GPa)
    356


    产品规格

    ∅850mm、厚45mm以下的高纯氧化铝圆盘、圆环(尺寸可以定制)
    我司还可以生产以下规格的高端陶瓷:
    1、1500×600×25mm以下的长板、长条、方板、薄板;
    2、1000×45×45mm以下的导轨;
    3、∅300∽600×长500mm以内的空管、圆柱体、电真空管等
    4、可以定制各种形状和规格的高纯氧化铝陶瓷产品

    顺鹏优势

    我们拥有自主知识产权的PIBM自固化成型工艺,专业生产高品质的精细陶瓷元件。新工艺突破了大尺寸陶瓷湿坯

    在制备过程中的变形和开裂问题,相对传统方法制备的大型陶瓷零件,产品性能显著优化。

    萍乡顺鹏新材料有限公司生产的氧化铝陶瓷研磨抛光盘采用PIBM 自固化成型工艺。国际领先进PIBM的技术成功 

    解决了大口径氧化铝裂纹变形的关键问题。PIBM陶瓷科技将为陶瓷行业打开另一扇光明的窗户。我们不仅生产 

    高质量的氧化铝陶瓷抛光板,还包括其他系列大尺寸高纯氧化铝陶瓷,如1200*500*20mm陶瓷基板,用于液晶 

    显示器制造设备,半导体传输轨道,真空部件,通用机械零件,防弹陶瓷。

    网址:www.chemshun.cn.联系方式:13879937296/0799-2181608。

    产品展示

    半导体硅晶圆抛光盘1

    半导体硅晶圆抛光盘01

    半导体硅晶圆抛光盘04


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